FFU循環(huán)的特點(diǎn)就是：全部凈化室由負(fù)壓層、加工工藝層、加工工藝協(xié)助層及送風(fēng)安全通道構(gòu)成，由FFU給予循環(huán)空氣的驅(qū)動力，將新風(fēng)系統(tǒng)、內(nèi)循環(huán)混合均勻根據(jù)超高效過濾器送進(jìn)加工工藝層制造工藝協(xié)助層，負(fù)壓層相較于加工工藝層為負(fù)壓力。除此之外，也有生產(chǎn)制造協(xié)助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)機(jī)器設(shè)備地區(qū)，包含能源供應(yīng)、氣體化工品供貨、超純水系統(tǒng)供貨等。

風(fēng)機(jī)過濾單元特性：

1、可以使用多種形式操縱速率。

2、很低的運(yùn)行耗費(fèi)功能損耗，控制成本。

3、內(nèi)嵌風(fēng)管引流系統(tǒng)軟件，減少噪音和風(fēng)阻，提升風(fēng)機(jī)效率。

4、可隨便搭配各種之T-GRID及HEPA、ULPA。

5、風(fēng)機(jī)過濾單元離心風(fēng)機(jī)采用率離心式通風(fēng)機(jī)，能提供高排風(fēng)量.高壓力標(biāo)準(zhǔn)，使用壽命規(guī)定將近五萬個小時(shí)以上。

6、適合使用于潔凈度等級Class1-1000級潔凈室。

7、尤其適用于組裝成潔凈生產(chǎn)流水線，可以根據(jù)加工工藝應(yīng)該布局為每臺應(yīng)用，還可以將幾臺串連產(chǎn)生100級銀行流水裝配流水線

8、產(chǎn)品出廠前都按照美國聯(lián)邦政府規(guī)范209E，用塵埃粒子計(jì)數(shù)器逐臺掃描儀檢驗(yàn)，保障質(zhì)量。